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高效电池智造装备

高效组件智造装备高效电池智造装备钙钛矿蒸镀设备高效氢能智造装备

ALD上下料机

产品特点

最高产能可达到16000pcs/h

可根据客户需求进行配置

特制精密陶瓷吸盘,陶瓷顶齿，陶瓷侧齿，减少硅片划伤，保证设备的稳定性

ALD上下料机技术参数
技术参数	相关参数
产能	8000/11000/16000 pcs/h
金属舟规格	200槽，节距2.38mm
硅片尺寸	166mm-210mm
适用花篮	100 casstte
碎片率	≤0.03%
开机率	≥98%
耗气量	1000L/min
具体参数如有变动，本公司不另行通知！

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