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板式PECVD上下料机

产品特点

最高产能可达到6000pcs/h 

可根据客户需求进行定制 

设备结构简单稳定

技术参数

技术参数相关参数
产速 4000 /6000 pcs/h(可订制)
碳框尺寸 

10*10（5*5，5*6，8*10,9*10 可选）

硅片尺寸 

166mm-210mm

碎片率  ≤0.02%
开机率≥98%
功率15kW
耗气量500L/min
具体参数如有变动，本公司不另行通知！
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